Visuelle Inspektionsanalge für 200mm-Silizium-Wafer


Anlagenbeschreibung:

Die Bewertung der Qualitätsmerkmale von Wafern wird vom Bediener durchgeführt. Zusätzlich werden verschiedene elektronische und optische Prüfverfahren angewandt. In Abhängigkeit der einzelnen Meß- und Prüfergebnisse werden die Wafer ausgerichtet und in die dafür vorgesehene Horde abgelegt. Eine Statistik- und Meldesoftware mit Archivierungsfunktion sorgt dafür, bereits vorher aufgetretene Ereignisse und Bewertungen zu Vergleichen heranzuziehen.

Lösungsansatz / Leistungsumfang:

  • Aufgabenklärung, Pflichtenhefterstellung, Konzepterstellung
  • Softwareerstellung
    • Aufteilung der Steuerungsaufgabe auf eine Steuerung vom Typ Siemens S7
    • Visualisierung der Maschine mit Siemens WinCC
    • Ansteuerung und Kommunikation über Positionierbaugruppen zu Schrittmotoren
    • Ansteuerung und Kommunikation über Kommunikationsprozessor zu Handlingroboter und Kamerasystem
    • Anbindung der Maschine an einen Leitrechner für die Rezept- und Prozeßdaten mittels SECS II / GEM
  • Simulation der Gesamtanlage
  • Inbetriebnahme, Schulung

Standorte:

  • Deutschland - Wasserburg, Singapur, USA / Portland

Kunden:

  • Siltronic AG