Automatisierung in der Halbleiterproduktion


Anlagenbeschreibung:

Epitaxie-Abgaswäscher für die Anwendung in der Large Wafer Silicium Produktion der Siltronic AG

Lösungsansatz / Leistungsumfang:

  • Steuerung mit Siemens S7-300 mit dezentraler Peripherie und Kommunikation zu einem übergeordneten Medienleitsystem.
  • Bedienung am Steuerschrank mit Siemens Touch Panel.
  • Visualisierung mit ProTool.
  • Sensoren / Aktoren in eigensicherer oder Ex-geschützter Ausführung.

Standorte:

  • Deutschland
  • Singapur

Kunde:

  • Plasticon Europe
  • Hürner GmbH